特許
J-GLOBAL ID：200903082986012569

高周波電源の制御方法

発明者：
久本 正昭

久本 正昭 について


出願人/特許権者：
富士電機株式会社

富士電機株式会社 について


代理人 (1件)： 篠部 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-143013
公開番号（公開出願番号）：特開2000-331798
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年11月30日
要約：
【要約】【課題】誘導結合形熱プラズマ(ICP)トーチに好適な高周波電源の制御方法を提供する。【解決手段】前記高周波電源としての電圧形インバータにおいて、インバータ主回路14の位相角γを調整することによりインバータ主回路14の出力制御を行い、先ず、電流設定器51の設定値I<SB>1 </SB>に基づいた高周波電流をインバータ主回路14からワークコイル2に供給しつつ、電力監視回路53によりインバータ主回路14の入力電力を監視し、この入力電流が所定の値を超えたときには、電流設定器52の設定値I<SB>2 </SB>(I<SB>2 </SB><I<SB>1 </SB>)に基づいた高周波電流をインバータ主回路14からワークコイル2に供給することで、ICPトーチの熱膨張などよる損傷を防止し、前記高周波電流のパルス変調時の制御応答の高速化を計る。
請求項（抜粋）：
高周波誘導結合形熱プラズマトーチを構成するワークコイルに高周波電力を供給する高周波電源の制御方法において、高周波電源から予め定めた第1の電流設定値(I<SB>1 </SB>)に基づく高周波電流をワークコイルに供給しつつ、該高周波電源の入力電力または出力電力を監視し、該入力電力または出力電力が所定の値を超えたときには、前記高周波電源から予め定めた第2の電流設定値(I<SB>2 </SB>,I<SB>2 </SB><I<SB>1 </SB>)に基づく高周波電流をワークコイルに供給することを特徴とする高周波電源の制御方法。
IPC (5件)：
H05H 1/46 ,  H02M 7/48 ,  H05B 6/06 366 ,  H05B 6/06 381 ,  H05H 1/26
FI (5件)：
H05H 1/46 R ,  H02M 7/48 E ,  H05B 6/06 366 ,  H05B 6/06 381 ,  H05H 1/26
Fターム (18件)：
3K059AA08 ,  3K059AA14 ,  3K059AB00 ,  3K059AB08 ,  3K059AB14 ,  3K059AC01 ,  3K059AC07 ,  3K059AC09 ,  3K059AC26 ,  3K059AD32 ,  3K059BD02 ,  3K059CD14 ,  5H007AA05 ,  5H007CA02 ,  5H007DA05 ,  5H007DB01 ,  5H007DC02 ,  5H007DC05
引用特許：
審査官引用 (7件)
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