特許

J-GLOBAL ID：200903083178358667

弾性表面波装置の製造方法

発明者： 門田 道雄 ,  中尾 武志 ,  三村 昌和
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-319821
公開番号（公開出願番号）：特開2005-039867
出願日： 2004年11月02日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】 IDT上にSiO2膜を形成することにより周波数温度特性が改善されているだけでなく、SiO2膜表面におけるクラックが発生し難く、所望とする特性を確実に得ることができ、かつ電気機械結合係数及び反射係数が大きな弾性表面波装置の製造方法を提供する。 【解決手段】 圧電基板12を用意する工程と、前記圧電基板12上に少なくとも1つのIDT13a,13bを、Alよりも密度が高い金属を用いて形成する工程と、前記IDT13a,13bを形成した後に、周波数調整を行う工程と、前記周波数調整後に、前記IDT13a,13bを被覆するようにSiO2膜を形成する弾性表面波装置の製造方法。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

圧電基板を用意する工程と、 前記圧電基板上に少なくとも1つのIDTを、Alよりも密度が高い金属を用いて形成する工程と、 前記IDTを形成した後に、周波数調整を行う工程と、 前記周波数調整後に、前記IDTを被覆するようにSiO2膜を形成する工程とを有することを特徴とする、弾性表面波装置の製造方法。

IPC (3件)：

H03H3/10 ,  H03H9/145 ,  H03H9/25

FI (3件)：

H03H3/10 ,  H03H9/145 C ,  H03H9/25 C

Fターム (7件)：

5J097AA13 ,  5J097AA21 ,  5J097AA28 ,  5J097DD28 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097GG03

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開平2-295212号公報
  
• 表面波装置及び通信機装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-248903   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-107967   出願人：京セラ株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-291991   出願人：株式会社村田製作所

審査官引用 (3件)

• 表面波装置及び通信機装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-248903   出願人：株式会社村田製作所
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-107967   出願人：京セラ株式会社
• 弾性表面波装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-291991   出願人：株式会社村田製作所