特許
J-GLOBAL ID：200903002398652671

弾性表面波装置

発明者：
門田 道雄

門田 道雄 について

, 
中尾 武志

中尾 武志 について

, 
三村 昌和

三村 昌和 について


出願人/特許権者：
株式会社村田製作所

株式会社村田製作所 について


代理人 (1件)： 宮▼崎▲ 主税
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-291991
公開番号（公開出願番号）：特開2003-188679
出願日： 2002年10月04日
公開日（公表日）： 2003年07月04日
要約：
【要約】【課題】 IDT上にSiO2膜を形成することにより周波数温度特性が改善されているだけでなく、SiO2膜表面におけるクラックが発生し難く、所望とする特性を確実に得ることができ、かつ電気機械結合係数及び反射係数が大きな弾性表面波装置を提供する。【解決手段】 25°〜55°回転Y板X伝搬のLiTaO3基板12上に、Alと比べて密度が高い金属もしくは合金からなる少なくとも1つのIDT13a,13bが形成されており、IDT13a,13bを覆うようにLiTaO3基板12上に周波数温度特性を改善するためのSiO2膜15が形成されている、弾性表面波装置11。
請求項（抜粋）：
25°〜55°回転Y板(オイラー角(0°,115°〜145°,0°))のLiTaO3基板と、前記LiTaO3基板上に形成されており、Alよりも密度の高い金属からなる少なくとも1つのIDTと、前記IDTを覆うように前記LiTaO3基板上に形成されたSiO2膜とを備えることを特徴とする、弾性表面波装置。
IPC (6件)：
H03H 9/25 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/18 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/145
FI (6件)：
H03H 9/25 C ,  H03H 3/08 ,  H03H 9/145 C ,  H01L 41/08 L ,  H01L 41/18 101 A ,  H01L 41/22 Z
Fターム (14件)：
5J097AA06 ,  5J097AA13 ,  5J097AA21 ,  5J097BB01 ,  5J097BB11 ,  5J097DD29 ,  5J097FF03 ,  5J097FF05 ,  5J097GG03 ,  5J097KK01 ,  5J097KK04 ,  5J097KK05 ,  5J097KK06 ,  5J097KK09
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (8件)
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