特許
J-GLOBAL ID：200903083273005488
電界放出冷陰極素子およびその清浄化方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-076083
公開番号（公開出願番号）：特開平9-265896
出願日： 1996年03月29日
公開日（公表日）： 1997年10月07日
要約：
【要約】【課題】真空封止された空間において、電界放出冷陰極を動作したときに起こる管球内の環境悪化を防ぎ、長寿命で安定した電子線を供給する。【解決手段】主電子放出領域の外側にガス出し用の電子放出領域を設け、排気工程中に、このガス出し用電子放出領域の素子を動作させ、得られる電子線をアノード電極、主電子放出領域のそれぞれゲート電極、エミッタティップに照射することにより、それぞれの電極のクリーニングを行う。
請求項（抜粋）：
第1のカソード電極として使用する導電性基板と、前記導電性基板上に積層した第1の絶縁層および第1のゲート電極と、前記第1の絶縁層と前記第1のゲート電極により形成される空洞内の前記導電性基板上に設けた、単一或いはアレイ状の先端の先鋭な略円錐状の第1のエミッタティップとで構成された第1の電子放出領域を有する電界放出冷陰極において、前記第1の電子放出領域の外側を囲むように配置した第2のカソード電極と、前記第2のカソード電極上に積層した第2の絶縁層および第2のゲート電極と、前記第2の絶縁層と前記第2のゲート電極により形成される空洞内の前記第2のカソード電極上に設けた、前記第1のエミッタティップと同形状のアレイ状の第2のエミッタティップとで構成された第2の電子放出領域を有することを特徴とする電界放出冷陰極素子。
IPC (3件)：
H01J 1/30
, H01J 9/02
, H01J 9/38
H01J 1/30 B
, H01J 9/02 B
, H01J 9/38 A
