特許
J-GLOBAL ID：200903083363234150
薄膜磁気ヘッド及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-154004
公開番号（公開出願番号）：特開平10-003630
出願日： 1996年06月14日
公開日（公表日）： 1998年01月06日
要約：
【要約】【課題】 摺動特性の向上及び磁電変換素子の耐腐食性の向上を図った薄膜磁気ヘッド及びその製造方法を提供すること。【解決手段】 スライダ部とコア部とを備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、スライダ部の空気軸受面11上にカーボンを主成分とするストレスの小さい第1のカーボン保護膜13が形成され、この第1のカーボン保護膜13上にカーボンを主成分とする硬度の高い第2のカーボン保護膜14が積層されて成ること。
請求項（抜粋）：
スライダ部とコア部とを備えた薄膜磁気ヘッドにおいて、前記スライダ部の空気軸受面上にカーボンを主成分とするストレスの小さい第1のカーボン保護膜が形成され、この第1のカーボン保護膜上にカーボンを主成分とする硬度の高い第2のカーボン保護膜が積層されて成ることを特徴とする薄膜磁気ヘッド。
IPC (3件)：
G11B 5/60
, G11B 5/187
, G11B 5/31
G11B 5/60 C
, G11B 5/187 K
, G11B 5/31 Z
