電磁界重畳セクター型質量分析装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴木正次 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-390499
公開番号（公開出願番号）：特開2002-190273
出願日： 2000年12月22日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】スパッタリングなどのプロセス最中の高い圧力雰囲気で動作させることが可能であり、しかも十分な性能を有し、製作コストの低い質量分析装置を提供する。【解決手段】電界形成のための電極と、磁界形成のための磁極あるいは磁石とにより構成され、電界と磁界とを直交させた電磁界空間にて荷電粒子を特定の曲率の円弧軌道上を通過させて荷電粒子の質量・エネルギー分離を行う電磁界重畳セクター型質量分析装置において、電磁界空間に面した磁極あるいは磁石の表面を、電界を形成させる電極として機能させたことを特徴とする電磁界重畳セクター型質量分析装置。

請求項（抜粋）：

電界形成のための電極と、磁界形成のための磁極あるいは磁石とにより構成され、電界と磁界とを直交させた電磁界空間にて荷電粒子を特定の曲率の円弧軌道上を通過させて荷電粒子の質量・エネルギー分離を行う電磁界重畳セクター型質量分析装置において、電磁界空間に面した磁極あるいは磁石の表面を、電界を形成させる電極として機能させることを特徴とする電磁界重畳セクター型質量分析装置。

IPC (2件)：

H01J 49/28 , G01N 27/62

FI (2件)：

H01J 49/28 , G01N 27/62 H

Fターム (1件)：

5C038HH15

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開平2-201855
特開平4-079139
特開昭60-062055

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