特許
J-GLOBAL ID:200903083557757129

全反射測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岩橋 祐司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-373127
公開番号(公開出願番号):特開2002-174591
出願日: 2000年12月07日
公開日(公表日): 2002年06月21日
要約:
【要約】【課題】 本発明の目的は、一の装置で入射角を容易に及び正確に変えて全反射光を得ることができる全反射測定装置を提供することにある。【解決手段】入射光118を臨界角以上の入射角で被測定試料と全反射プリズムの当接面131に集光し、その全反射光120を得る全反射測定装置において、前記被測定試料112と全反射プリズム110の当接面131に対する入射光118の入射角を全反射測定可能な角度の範囲内で変更可能な入射角変更手段164を備え、前記入射角変更手段164により入射光118の入射角を変えて全反射光120を得ることを特徴とする全反射測定装置122。
請求項(抜粋):
入射光を臨界角以上の入射角で被測定試料と全反射プリズムの当接面に集光し、その全反射光を得る全反射測定装置において、前記被測定試料と全反射プリズムの当接面に対する入射光の入射角を全反射測定可能な角度の範囲内で変更可能な入射角変更手段を備え、前記入射角変更手段により入射光の入射角を変えて全反射光を得ることを特徴とする全反射測定装置。
IPC (4件):
G01N 21/27 ,  G01B 11/06 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35
FI (4件):
G01N 21/27 C ,  G01B 11/06 G ,  G01N 21/01 Z ,  G01N 21/35 Z
Fターム (31件):
2F065AA25 ,  2F065CC02 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ18 ,  2F065LL02 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065MM15 ,  2F065UU01 ,  2G059AA05 ,  2G059BB04 ,  2G059BB10 ,  2G059DD12 ,  2G059EE02 ,  2G059EE12 ,  2G059FF07 ,  2G059GG01 ,  2G059GG03 ,  2G059HH01 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ14 ,  2G059JJ15 ,  2G059JJ17 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059LL02
引用特許:
審査官引用 (6件)
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