プラズマ発生器、リアクターシステム、及び関連した方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：社本一夫 , 小野新次郎 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 宮前徹
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-541500
公開番号（公開出願番号）：特表2007-512677
出願日： 2004年12月01日
公開日（公表日）： 2007年05月17日
要約：

【課題】プラズマ発生器、リアクター、及び関連したシステム、及び方法を本発明に従って提供する。【解決手段】プラズマリアクターは、互いに取り外し自在に連結されてチャンバを形成する多数の区分即ちモジュールを含む。三つの電極を含む電極組が各区分と関連している。これらの電極の各々は、三相交流(AC)電源の一つの相に連結されている。電極は、チャンバの長さ方向中心線を中心として配置されており、長いアークを形成し、長いプラズマ本体を発生するように構成されている。電極は、チャンバの長さ方向中心線に対して変位自在である。関連した電源の電圧又は電流のレベルの計測に応じて電極を自動的に変位させ、電極隙間を画成するように、制御システムを使用できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

プラズマ発生装置において、チャンバ、前記チャンバの長さ方向軸線を中心として配置された三つの電極を含み、これらの電極の各々が三相交流(AC)電源の単一の相に連結されるように形成されている第1電極組、及びチャンバの長さ方向軸線を中心として配置された三つの電極を含み、これらの電極の各々が別の三相交流(AC)電源の単一の相に連結されるように形成されている少なくとも一つの別の電極組を含み、前記少なくとも別の電極組は、前記長さ方向軸線に沿って前記第1電極組に対してずらしてある、プラズマ発生装置。

IPC (2件)：

H05H 1/48 , H05H 1/24

FI (2件)：

H05H1/48 , H05H1/24

引用特許：

出願人引用 (2件)

米国特許第5,935,293号
RE37,853,

審査官引用 (8件)

アーク溶射方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-013435 出願人：三菱重工業株式会社
プラズマ処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-389644 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開昭63-205040

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