特許
J-GLOBAL ID：200903083620981492

走査型プローブ顕微鏡

発明者：
本間 昭彦

本間 昭彦 について


出願人/特許権者：
セイコーインスツルメンツ株式会社

セイコーインスツルメンツ株式会社 について


代理人 (1件)： 坂上 正明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-124248
公開番号（公開出願番号）：特開2003-315241
出願日： 2002年04月25日
公開日（公表日）： 2003年11月06日
要約：
【要約】【課題】 探針の摩耗状態を定量的に検知することができる走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】 探針を備えた走査プローブを着脱自在に保持し、試料表面に近接または接触させた探針をZ方向へ微動させながらX,Y方向へ走査して、試料の表面形状あるいは物理量を計測する走査型プローブ顕微鏡において、探針の前回までの移動量の積算値を記憶する手段と、探針の今回の移動量を計測する手段と、検知された今回の移動量を前記積算値に加算する手段と、前記加算値を積算値として前記記憶手段に更新登録する手段とを含み、前記積算値で探針の摩耗状態を代表する。
請求項（抜粋）：
探針を備えた走査プローブを着脱自在に保持し、試料表面に近接または接触させた探針をZ方向へ微動させながらX,Y方向へ走査して、試料の表面形状あるいは物理量を計測する走査型プローブ顕微鏡において、前記探針の摩耗状態を、その使用履歴に基づいて定量的に検知する手段と、前記検知結果を表示する手段とを含むことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
IPC (3件)：
G01N 13/16 ,  G01B 21/00 ,  G01B 21/30
FI (3件)：
G01N 13/16 A ,  G01B 21/00 W ,  G01B 21/30
Fターム (10件)：
2F069AA24 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069BB40 ,  2F069GG06 ,  2F069GG15 ,  2F069GG31 ,  2F069GG72 ,  2F069MM02 ,  2F069NN08
引用特許：
審査官引用 (3件)

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