特許

J-GLOBAL ID：200903083667299193

表面弾性波素子用基板及び表面弾性波素子

発明者： 中幡 英章 ,  八郷 昭広 ,  辰巳 夏生 ,  今井 貴浩 ,  鹿田 真一
出願人/特許権者： 住友電気工業株式会社
代理人 (1件)： 長谷川 芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-241468
公開番号（公開出願番号）：特開2002-057549
出願日： 2000年08月09日
公開日（公表日）： 2002年02月22日
要約：

【要約】【課題】 圧電体層の結晶特性を制御するための中間層とダイヤモンド層とが剥離しにくい表面弾性波素子用基板及び表面弾性波素子を提供すること。【解決手段】 本発明の表面弾性波素子用基板20及び表面弾性波素子10は、ダイヤモンド層22と、ダイヤモンド層22上に配された中間層24と、中間層24上に配された圧電体層26とを有し、圧電体層26は、LiNbO3又はLiTaO3によって形成され、中間層24は、AlNによって形成されていることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

ダイヤモンド層と、前記ダイヤモンド層上に配された中間層と、前記中間層上に配された圧電体層とを有し、前記圧電体層は、LiNbO3によって形成され、前記中間層は、AlNによって形成されていることを特徴とする表面弾性波素子用基板。

Fターム (8件)：

5J097AA28 ,  5J097AA31 ,  5J097EE08 ,  5J097FF05 ,  5J097FF08 ,  5J097HA02 ,  5J097HA03 ,  5J097KK09

引用特許：

審査官引用 (2件)

• ダイヤモンド基材および表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-294648   出願人：住友電気工業株式会社
• 表面弾性波素子用電極
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-211449   出願人：テイーデイーケイ株式会社

引用文献：

審査官引用 (1件)

• SAW Properties of SiO2/128 ゚Y-X LiNbO3 Structure Fabricated by Magnetron Sputtering Technique