特許
J-GLOBAL ID：200903083688239522
マイクロポンプ及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-073698
公開番号（公開出願番号）：特開2000-343499
出願日： 2000年03月16日
公開日（公表日）： 2000年12月12日
要約：
【要約】【課題】 流体の移送をおこなうポンプにおける、パッキンとバルブダイアフラムから構成されるバルブにおいて、天板とバルブダイアフラムが形成された基板を接合後に、天板上に設けた充填口よりパッキン原料を充填し、硬化させてパッキンを形成する場合、形状にばらつきのないパッキンを形成することが困難で、ポンプの流量精度や順方向に圧力がかかったときの耐圧性、吐出圧力などのポンプ性能が低下する。【解決手段】 パッキン原料が所望の位置にのみ充填され、それ以外の位置に拡散しないようにあらかじめガイド7を設けておくことにより、常に一定形状のパッキン8が形成できるような構造とする。またガイド7を形成せずに同様の効果を得る方法として、天板と基板を接合したのち、パッキン原料を充填し、必要な部位のみを選択的に硬化させ、その後不必要である未硬化のパッキンを除去する方法を用いる。
請求項（抜粋）：
流体の移送をおこなうポンプにおいて、外部から流体をポンプ内部に取り込む流体入口と流体の移動を促進するポンピング部の中途、および、流体がポンプ内部から外部へと流出する流体出口と前記ポンピング部との中途にバルブを有し、前記バルブがパッキンとダイアフラムから構成され、前記ダイアフラムの変形に伴いパッキンによって流体の移動を阻害する構造を有し、かつ、パッキン原料を注入するパッキン原料充填口が前記ダイアフラムと対向する位置に設けられ、さらに前記パッキン原料充填口の周囲に前記パッキン原料の充填位置を規制するガイドを有する構造であることを特徴とするポンプ。
IPC (4件)：
B81B 3/00
, B81C 1/00
, F04B 43/02
, F16J 15/52
B81B 3/00
, B81C 1/00
, F04B 43/02 C
, F04B 43/02 Z
, F16J 15/52 Z
