走査電子顕微鏡及び顕微方法並びに対話型入力装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-093934
公開番号（公開出願番号）：特開平11-250850
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年09月17日
要約：

【要約】【課題】SEMをベースにしたSTEMによりTEMの分解能に相当しかつSEMの使い易さをもって試料の内部構造を立体的に観察することを可能とする。【解決する手段】電子源1と,前記電子源1を200kev程度に加速する電源と軸調整用電子銃偏向器と、電子ビームを収束し走査して試料に照射する電子光学手段と共用試料ホルダとインレンズ構造の対物レンズと、二次荷電粒子を検出する検出器からなる走査電子顕微鏡である。【効果】走査透過像の観察において,目的とする観察部分のコントラストを検出散乱角度範囲を選択することによって向上することができ,結像パラメータを計算機が自動解析して構造解析,組成解析時に使用でき,2次電子像,反射電子像から試料の内部構造をμmオーダで立体的に観察することができる。

請求項（抜粋）：

電子源と、前記電子源からの電子線を200KeV程度に加速する加速電極と、前記加速電極で加速された電子線を走査偏向する第1の偏向器と、試料上を走査するための第2の偏向器と、試料を保持する試料ホルダと、前記試料ホルダを挟んで配置された対物レンズと、前記対物レンズを通過した散乱電子を検出する検出器を具備した走査電子顕微鏡。

IPC (4件)：

H01J 37/28 , H01J 37/04 , H01J 37/147 , H01J 37/22 502

FI (4件)：

H01J 37/28 C , H01J 37/04 , H01J 37/147 Z , H01J 37/22 502 Z

引用特許：

審査官引用 (7件)

荷電粒子ビーム用集束装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-098766 出願人：株式会社島津製作所
観察試料作成方法及びその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-131840 出願人：株式会社日立製作所
特開昭60-151946

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