半導体装置およびその作製方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-265021
公開番号（公開出願番号）：特開2002-189429
出願日： 2001年08月31日
公開日（公表日）： 2002年07月05日
要約：

【要約】【課題】必要十分なキャパシティをもつ保持容量を備えた半導体装置を提供する。【解決手段】金属表面を有する基板と、前記金属表面を有する基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された画素部とを有する半導体装置において、前記画素部は、TFTと、該TFTと接続する配線とを有しており、保持容量は、前記金属表面を有する基板、前記絶縁膜および前記配線により構成されている。前記絶縁膜の膜厚が薄いほど、また、前記絶縁膜と前記配線の接する領域の面積が大きいほど、大きなキャパシティを得られるので有利である。

請求項（抜粋）：

金属表面を有する基板と、前記金属表面を有する基板上に形成された絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成された画素部とを有する半導体装置であって、前記画素部は、TFTと、該TFTに接続する配線とを有しており、保持容量は、前記金属表面を有する基板、前記絶縁膜および前記配線により構成されていることを特徴とする半導体装置。

IPC (11件)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 330 , G09F 9/30 348 , G02F 1/13 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/35 , H01L 21/205 , H01L 21/28 , H01L 21/336 , H01L 21/768 , H01L 29/786

FI (11件)：

G09F 9/30 338 , G09F 9/30 330 Z , G09F 9/30 348 A , G02F 1/13 505 , G02F 1/1368 , G09F 9/35 , H01L 21/205 , H01L 21/28 F , H01L 29/78 626 C , H01L 29/78 612 Z , H01L 21/90 A

Fターム (144件)：

2H088EA10 , 2H088HA01 , 2H088HA08 , 2H088MA20 , 2H092JA24 , 2H092JA37 , 2H092JA41 , 2H092JB57 , 2H092KA04 , 2H092KA10 , 2H092KB24 , 2H092KB25 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA08 , 2H092MA17 , 2H092MA27 , 2H092MA30 , 2H092NA25 , 4M104AA09 , 4M104BB01 , 4M104BB02 , 4M104BB04 , 4M104BB08 , 4M104BB13 , 4M104BB14 , 4M104BB16 , 4M104BB17 , 4M104BB18 , 4M104BB30 , 4M104BB32 , 4M104BB33 , 4M104BB40 , 4M104CC05 , 4M104DD37 , 4M104DD43 , 4M104DD65 , 4M104FF08 , 4M104GG20 , 5C094AA15 , 5C094AA43 , 5C094AA44 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA07 , 5C094FB14 , 5C094FB15 , 5F033HH07 , 5F033HH08 , 5F033HH10 , 5F033HH11 , 5F033HH14 , 5F033HH17 , 5F033HH18 , 5F033HH19 , 5F033HH20 , 5F033HH21 , 5F033HH32 , 5F033HH33 , 5F033JJ01 , 5F033JJ10 , 5F033JJ18 , 5F033KK04 , 5F033MM05 , 5F033MM19 , 5F033QQ08 , 5F033QQ10 , 5F033QQ12 , 5F033QQ21 , 5F033RR08 , 5F033SS08 , 5F033SS15 , 5F033VV15 , 5F045AA06 , 5F045AA08 , 5F045AA18 , 5F045AA19 , 5F045AB01 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110BB04 , 5F110CC02 , 5F110DD01 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110DD15 , 5F110DD17 , 5F110EE01 , 5F110EE02 , 5F110EE03 , 5F110EE04 , 5F110EE05 , 5F110EE06 , 5F110EE09 , 5F110EE14 , 5F110EE23 , 5F110EE28 , 5F110EE44 , 5F110EE45 , 5F110FF04 , 5F110FF09 , 5F110FF28 , 5F110FF30 , 5F110GG01 , 5F110GG02 , 5F110GG03 , 5F110GG13 , 5F110GG25 , 5F110GG32 , 5F110GG42 , 5F110GG43 , 5F110GG45 , 5F110GG47 , 5F110HJ01 , 5F110HJ12 , 5F110HJ13 , 5F110HJ23 , 5F110HL04 , 5F110HL06 , 5F110HL11 , 5F110HM15 , 5F110NN03 , 5F110NN22 , 5F110NN23 , 5F110NN24 , 5F110NN27 , 5F110NN33 , 5F110NN34 , 5F110NN35 , 5F110NN73 , 5F110PP03 , 5F110PP05 , 5F110PP06 , 5F110PP29 , 5F110PP34 , 5F110QQ04 , 5F110QQ19 , 5F110QQ24 , 5F110QQ25 , 5F110QQ28

引用特許：

審査官引用 (13件)

液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-296894 出願人：三洋電機株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-306554 出願人：三洋電機株式会社
液晶表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-224582 出願人：株式会社リコー

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