特許
J-GLOBAL ID：200903083834153180

荷電粒子線装置

発明者：
数森 啓悦

数森 啓悦 について


出願人/特許権者：
日本電子株式会社

日本電子株式会社 について


代理人 (2件)： 井島 藤治 ,  鮫島 信重
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-115909
公開番号（公開出願番号）：特開2007-287561
出願日： 2006年04月19日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】本発明は荷電粒子線装置に関し、試料の凹凸が激しい場合でも、試料の前面にわたって正確な試料像を得ることができる荷電粒子線装置を提供することを目的としている。【解決手段】試料上を3次元的に走査して試料からの2次的粒子を検出器で検出して試料像を得るようにした荷電粒子線装置において、各走査位置でのZ方向のフォーカス位置が記述されたフォーカスパターン記憶部13と、対物レンズ3に近接して配置され、試料のZ方向のフォーカスを微調整するフォーカス微調整コイル6と、を有し、走査コイル5で2次元的に走査すると共に、試料2上の走査位置に応じて、前記フォーカスパターン記憶部13に記憶されたデータに基づき、前記フォーカス微調整コイル6でZ方向の位置を調整しながら3次元走査を行なうように構成する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
試料上を3次元的に走査して試料からの2次的粒子を検出器で検出して試料像を得るようにした荷電粒子線装置において、 各走査位置でのZ方向のフォーカス位置が記述されたフォーカスパターン記憶部と、 対物レンズに近接して配置され、試料のZ方向のフォーカスを微調整するフォーカス微調整コイルと、 を有し、走査コイルで2次元的に走査すると共に、試料上の走査位置に応じて、前記フォーカスパターン記憶部に記憶されたデータに基づき、前記フォーカス微調整コイルでZ方向の位置を調整しながら3次元走査を行なうことを特徴とする荷電粒子線装置。
IPC (1件)：
H01J 37/21
FI (1件)：
H01J37/21 B
Fターム (2件)：
5C033MM03 ,  5C033MM07
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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