共振器の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤公久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-057361
公開番号（公開出願番号）：特開2002-299979
出願日： 2002年03月04日
公開日（公表日）： 2002年10月11日
要約：

【要約】【課題】同一基板上に共振周波数の異なる共振器を組立てる。【解決手段】基板(12)上に第1の底部電極(22)と第2の底部電極(32)を作る。第1の底部電極と前記第2の底部電極上にコア圧電層(14)を作り、前記コア圧電層は第1の底部電極の上に第1の部分(24)と前記第2の底部電極の上に第2の部分(34)とを備える。第1の部分の上に追加のPZ層(25)を作り、その上に第1の表面電極(26)と第2の部分の上に第2の表面電極(36)をそれぞれ作る。

請求項（抜粋）：

共振器を製造する方法において、基板上に第1の底部電極と第2の底部電極を作り、前記第1の底部電極と前記第2の底部電極上にコア圧電(PZ)層を作り、前記コア圧電(PZ)層は、前記第1の底部電極の上に第1の部分と前記第2の底部電極の上に第2の部分とを備え、前記第1の部分の上に追加のPZ層を作り、かつ、前記追加のPZ層の上に第1の表面電極と前記コアPZ層の前記第2の部分の上に第2の表面電極をそれぞれ作るようにした、共振器の製造方法。

IPC (2件)：

H03H 3/02 , H01L 41/22

FI (3件)：

H03H 3/02 C , H03H 3/02 E , H01L 41/22 Z

Fターム (2件)：

5J108MM11 , 5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (8件)

モノリシック薄膜共振器格子フィルタおよびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-218108 出願人：モトローラ・インコーポレイテッド
水晶の直接接合方法および水晶デバイス
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-261601 出願人：松下電器産業株式会社
特公平5-032925

全件表示

前のページに戻る