特許
J-GLOBAL ID：200903084079742990

レーザ装置及び露光装置

発明者：
永井 伸治

永井 伸治 について


出願人/特許権者：
ギガフォトン株式会社

ギガフォトン株式会社 について


代理人 (1件)： 宇都宮 正明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-310969
公開番号（公開出願番号）：特開2003-124554
出願日： 2001年10月09日
公開日（公表日）： 2003年04月25日
要約：
【要約】【課題】 セレクトされていない波長成分を低減するように制御することが容易なレーザ装置を提供する。【解決手段】 このレーザ装置は、レーザチャンバ1と放電電極12とを含み、少なくとも第1の波長成分と第2の波長成分とを有するレーザ光を発生するレーザ共振器と、レーザ共振器に第1の波長成分を主として発生させる波長選択手段100と、レーザチャンバに充填されるレーザガスを調整するガスコントローラ9と、放電電極に電圧を印加する電源部11と、レーザ共振器から出力されるレーザ光の強度を複数の波長成分について検出する検出手段200と、検出手段によって検出された少なくとも第1の波長成分の強度と第2の波長成分の強度とに基づいて、波長選択手段とガスコントローラと電源部との内の少なくとも1つを制御する制御手段8とを具備する。
請求項（抜粋）：
レーザガスが充填されるレーザチャンバと、前記レーザガスを励起して活性化させるための放電電極とを含み、少なくとも第1の波長成分と第2の波長成分とを有するレーザ光を発生するレーザ共振器と、前記レーザ共振器の内部に配置され、前記レーザ共振器に第1の波長成分を主として発生させる波長選択手段と、前記レーザチャンバに充填されるレーザガスを調整するガスコントローラと、前記放電電極に電圧を印加する電源部と、前記レーザ共振器から出力されるレーザ光の強度を複数の波長成分について検出する検出手段と、前記検出手段によって検出された少なくとも第1の波長成分の強度と第2の波長成分の強度とに基づいて、前記波長選択手段と前記ガスコントローラと前記電源部との内の少なくとも1つを制御する制御手段と、を具備するレーザ装置。
IPC (5件)：
H01S 3/137 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027 ,  H01S 3/134
FI (5件)：
H01S 3/137 ,  G03F 7/20 502 ,  G03F 7/20 521 ,  H01S 3/134 ,  H01L 21/30 515 B
Fターム (22件)：
2H097AA03 ,  2H097CA13 ,  2H097LA10 ,  5F046CA03 ,  5F046CA07 ,  5F071AA04 ,  5F071DD04 ,  5F071HH01 ,  5F071HH02 ,  5F071HH05 ,  5F071JJ05 ,  5F072AA04 ,  5F072HH01 ,  5F072HH02 ,  5F072HH05 ,  5F072JJ05 ,  5F072KK01 ,  5F072KK05 ,  5F072KK08 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072YY09
引用特許：
審査官引用 (13件)
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