特許

J-GLOBAL ID：200903084080370045

収差測定装置及び方法

発明者： 中内 章博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-059151
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273572
出願日： 2003年03月05日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：

【課題】実波長を用いることなく、光学系の波面収差を高精度に測定することができる収差測定装置及び方法を提供する。【解決手段】軟X線に用いる光学系の波面収差を測定する装置であって、波長150nm乃至300nmの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定装置を提供する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

軟X線に用いる光学系の波面収差を測定する装置であって、 波長150nm乃至300nmの光を前記光学系に照射し、前記光学系を通過した前記光の干渉縞を検出する光強度検出器を有し、該光強度検出器の検出結果に基づいて前記光学系の波面収差を測定することを特徴とする測定装置。

IPC (3件)：

H01L21/027 ,  G01B9/02 ,  G01M11/02

FI (5件)：

H01L21/30 531Z ,  G01B9/02 ,  G01M11/02 B ,  H01L21/30 516A ,  H01L21/30 517

Fターム (13件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064CC02 ,  2F064EE05 ,  2F064FF01 ,  2F064GG12 ,  2F064GG13 ,  2F064GG22 ,  2F064GG33 ,  2F064GG49 ,  2G086HH06 ,  5F046GA03 ,  5F046GB01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 露光装置の調整方法及び露光装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-268197   出願人：株式会社ニコン
• 面形状計測用干渉計、波面収差測定機、前記干渉計及び前記波面収差測定機を用いた投影光学系の製造方法、及び前記干渉計の校正方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-268582   出願人：株式会社ニコン
• i線用レンズの波面収差測定装置及び方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-215399   出願人：株式会社ニコン