電子放出素子および画像表示装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：外川英明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-336058
公開番号（公開出願番号）：特開2001-155621
出願日： 1999年11月26日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】大型画面の高周波駆動が可能な低抵抗化を実現しつつ、ゲート-エミッタ間距離の均一化・近接化が可能となり、低電圧での安定した電子放出が得られ、ディスプレイの大型化に対応可能な、高速かつ高信頼性の電子放出素子を提供する。【解決手段】ゲートラインもしくはゲート-エミッタ層間絶縁層の膜厚が、ゲート開口端では小さく、開口端から離れるに従って開口端からの距離に比例して増加し、エミッタ直上以外の領域においてはエミッタ高さ程度であるように形成する。

請求項（抜粋）：

絶縁性基板上に形成されたカソードラインと、このカソードライン上に形成された凸状先端を有するエミッタと、前記カソードライン上に形成された絶縁層を介して形成され前記エミッタの凸状先端が露出する開口部を有するゲートラインとを有する電子放出素子において、前記ゲートラインの高さが前記エミッタの凸状先端の近傍であり且つ前記ゲートラインの膜厚が前記開口部から前記絶縁性基板に沿う方向の距離に比例して増加していることを特徴とする電子放出素子。

IPC (4件)：

H01J 1/304 , G09F 9/30 360 , H01J 29/04 , H01J 31/12

FI (4件)：

G09F 9/30 360 , H01J 29/04 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

Fターム (28件)：

5C031DD17 , 5C036EE03 , 5C036EE04 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG12 , 5C036EH08 , 5C036EH23 , 5C094AA04 , 5C094AA13 , 5C094AA14 , 5C094AA43 , 5C094AA48 , 5C094AA55 , 5C094BA32 , 5C094BA34 , 5C094CA19 , 5C094DA13 , 5C094DB01 , 5C094DB04 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB12 , 5C094FB15 , 5C094GB10 , 5C094JA08

引用特許：

審査官引用 (7件)

電界放出型冷陰極およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-332043 出願人：株式会社東芝
特許第2625366号
電界放射電子源の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-196520 出願人：沖電気工業株式会社

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