特許
J-GLOBAL ID：200903084217717684

ガス溶解洗浄水供給装置

発明者：
森田 博志

森田 博志 について


出願人/特許権者：
栗田工業株式会社

栗田工業株式会社 について


代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-140481
公開番号（公開出願番号）：特開2001-314740
出願日： 2000年05月12日
公開日（公表日）： 2001年11月13日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】簡単な1系列の装置を用いて、複数種のガス溶解洗浄水を逐次供給することができ、ワンバス式洗浄機や枚葉式洗浄機に対応することができるガス溶解洗浄水供給装置を提供する。【解決手段】ガスと純水とを直接混合してガスを溶解する混合型ガス溶解器1の1個又は複数個からなるガス溶解部、ガス溶解部に純水を供給する純水供給配管2、ガス溶解部に複数種のガスを供給するガス供給手段、ガス溶解部でガスを溶解したガス溶解洗浄水を送出する送給管6及び送給管に設けられた気液分離器7を有することを特徴とするガス溶解洗浄水供給装置。
請求項（抜粋）：
ガスと純水とを直接混合してガスを溶解する混合型ガス溶解器の1個又は複数個からなるガス溶解部、ガス溶解部に純水を供給する純水供給配管、ガス溶解部に複数種のガスを供給するガス供給手段、ガス溶解部でガスを溶解したガス溶解洗浄水を送出する送給管及び送給管に設けられた気液分離器を有することを特徴とするガス溶解洗浄水供給装置。
IPC (5件)：
B01F 1/00 ,  B01F 3/04 ,  B08B 3/08 ,  H01L 21/304 647 ,  H01L 21/304 648
FI (5件)：
B01F 1/00 A ,  B01F 3/04 Z ,  B08B 3/08 A ,  H01L 21/304 647 Z ,  H01L 21/304 648 K
Fターム (11件)：
3B201AA03 ,  3B201BB89 ,  3B201BB93 ,  3B201BB98 ,  3B201CB11 ,  3B201CC01 ,  3B201CD11 ,  4G035AA01 ,  4G035AB26 ,  4G035AE13 ,  4G035AE19
引用特許：
審査官引用 (9件)
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