特許
J-GLOBAL ID：200903084300935960

マイクロ波プラズマ装置

発明者：
鎌田 京子

鎌田 京子 について

, 
後藤 勝文

後藤 勝文 について


出願人/特許権者：
住友金属工業株式会社

住友金属工業株式会社 について


代理人 (1件)： 森 道雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-327031
公開番号（公開出願番号）：特開平8-185997
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1996年07月16日
要約：
【要約】【構成】プラズマ生成室3と、前記プラズマ生成室3にマイクロ波を導入するマイクロ波導入窓2と、前記プラズマ生成室の内部にプラズマ生成室の内壁を覆う防着筒7を備え、上記防着筒7がその下端で弾性のある防着筒保持手段8により保持されており、上記防着筒7とマイクロ波導入窓2との間隙が一定であるマイクロ波プラズマ装置。【効果】プラズマ処理の再現性を良好とするとともに防着筒の変形や割れ破損あるいは防着筒の取り外しが困難になることをなくすことができる。
請求項（抜粋）：
プラズマ生成室と、前記プラズマ生成室にマイクロ波を導入するマイクロ波導入窓と、前記プラズマ生成室の内部にプラズマ生成室の内壁を覆う防着筒を備えるマイクロ波プラズマ装置であって、上記防着筒がその下端で弾性のある防着筒保持手段により保持されており、上記防着筒とマイクロ波導入窓との間隙が一定であることを特徴とするマイクロ波プラズマ装置。
IPC (4件)：
H05H 1/46 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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