光モニタリングシステム

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：田村爾
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-298701
公開番号（公開出願番号）：特開2005-070301
出願日： 2003年08月22日
公開日（公表日）： 2005年03月17日
要約：

【課題】導波路が形成された基板を有する光学素子への入射光を、光損失を抑制しながら精度の高い検出を可能とすると共に、装置全体のコンパクト化を達成する光モニタリングシステムを提供すること。【解決手段】導波路22が形成された基板21と、該導波路22に光を導入するための光導入手段24とを有する光モニタリングシステムにおいて、該導波路の入射端部23で反射した該光による反射光28を検出するモニタ手段26を設けることを特徴とする。また、好ましくは、該導波路の入力端部23と該モニタ手段26との間には光学部材25を介在させることを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

導波路が形成された基板と、該導波路に光を導入するための光導入手段とを有する光モニタリングシステムにおいて、該導波路の入射端部で反射した該光による反射光を検出するモニタ手段を設けることを特徴とする光モニタリングシステム。

IPC (4件)：

G02B6/42 , G02B6/122 , G02F1/03 , H01L31/12

FI (4件)：

G02B6/42 , G02F1/03 502 , H01L31/12 H , G02B6/12 C

Fターム (27件)：

2H037BA11 , 2H037CA34 , 2H037CA37 , 2H047KA15 , 2H047MA00 , 2H079AA02 , 2H079AA12 , 2H079BA01 , 2H079BA03 , 2H079DA03 , 2H079DA22 , 2H079EA05 , 2H079FA01 , 2H079FA04 , 2H079HA16 , 2H079KA19 , 5F089BA05 , 5F089BB01 , 5F089BC17 , 5F089BC22 , 5F089BC30 , 5F089CA14 , 5F089CA20 , 5F089CA21 , 5F089EA10 , 5F089GA01 , 5F089GA10

引用特許：

出願人引用 (9件)

光外部変調器バイアス電圧制御回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-209803 出願人：沖電気工業株式会社
光変調器駆動回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-164301 出願人：沖電気工業株式会社
特開200-241778号公報

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審査官引用 (6件)

モニタ付分岐干渉型光変調器
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-337164 出願人：富士通株式会社
特開平2-054207
特開昭59-053809

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