特許

J-GLOBAL ID：200903084318251627

加熱手段、載置台及び熱処理装置

発明者： 荒見 淳一
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-178690
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019479
出願日： 2003年06月23日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】有機物汚染や金属汚染等のコンタミネーションの発生を抑制でき、しかも製造が比較的簡単で安価な加熱手段を提供する。【解決手段】不透明石英よりなる反射板60の表面に、通電により熱を発生するカーボンワイヤ64が内部に挿通された石英管62を溶接して加熱手段を形成する。これにより、加熱される被処理体に有機物汚染や金属汚染等のコンタミネーションを殆ど生ぜしめることなくこれを加熱することができ、しかも製造が比較的簡単なので安価に提供することができる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

不透明石英よりなる反射板の表面に、通電により熱を発生するカーボンワイヤが内部に挿通された石英管を溶接してなることを特徴とする加熱手段。

IPC (6件)：

H01L21/324 ,  C23C16/46 ,  H01L21/02 ,  H01L21/22 ,  H01L21/31 ,  H05B3/84

FI (8件)：

H01L21/324 K ,  C23C16/46 ,  H01L21/02 Z ,  H01L21/22 501A ,  H01L21/22 501G ,  H01L21/22 501M ,  H01L21/31 B ,  H05B3/20 397B

Fターム (23件)：

3K034AA05 ,  3K034AA12 ,  3K034AA22 ,  3K034BB05 ,  3K034BC17 ,  3K034JA02 ,  3K034JA10 ,  4K030CA04 ,  4K030CA12 ,  4K030FA10 ,  4K030KA12 ,  4K030KA15 ,  4K030KA23 ,  4K030KA46 ,  4K030LA15 ,  5F045AA04 ,  5F045AB31 ,  5F045AC08 ,  5F045DP02 ,  5F045EC03 ,  5F045EC05 ,  5F045EF05 ,  5F045EK08

引用特許：

審査官引用 (5件)

• カーボンヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-254513   出願人：東芝セラミックス株式会社, 東京エレクトロン株式会社
• 熱処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-021346   出願人：東京エレクトロン株式会社
• カーボンワイヤー発熱体封入ヒータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-154101   出願人：東芝セラミックス株式会社, 東京エレクトロン株式会社
• 特開昭63-216283
  
• 処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-185517   出願人：東京エレクトロン株式会社