特許
J-GLOBAL ID:200903084351682846
太陽電池とその製造方法及びこれに用いる短絡部除去装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人池内・佐藤アンドパートナーズ
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-042521
公開番号(公開出願番号):特開2006-229052
出願日: 2005年02月18日
公開日(公表日): 2006年08月31日
要約:
【課題】短絡部除去の影響を及ぼす範囲をできるだけ非連続的にした太陽電池とその製造方法及びこれに用いる短絡部除去装置を提供する。【解決手段】上部電極層と光電変換層と下部電極層を含む太陽電池において、前記光電変換層に生じた電気的短絡部分を、光電変換層及び光電変換層上に形成された透明電極層とともに、刃物又は熱拡散のないレーザ光により除去する。この除去装置の一例は、フェムト秒レーザ(41)と、減衰器(42)と、光電流測定装置(45)とを備え、レーザの出力を落とした状態で光電変換層上を走査して光電流を測定し、光電流の極小部位においてレーザの出力を一時的に高くする。これにより、光電変換層の中の短絡部が周りに熱的影響を与えることなく、すなわち除去による周辺部での新たな漏れ電流の発生を抑えた状態で除去できる。【選択図】 図4
請求項(抜粋):
上部電極層と光電変換層と下部電極層を含む太陽電池において、前記光電変換層に生じた電気的短絡部分を、光電変換層及び光電変換層上に形成された透明電極層とともに、刃物又は熱拡散のないレーザ光により除去したことを特徴とする太陽電池。
IPC (1件):
FI (2件):
H01L31/04 K
, H01L31/04 E
Fターム (10件):
5F051AA10
, 5F051CB30
, 5F051DA03
, 5F051EA03
, 5F051EA16
, 5F051FA04
, 5F051FA06
, 5F051GA05
, 5F051KA09
, 5F051KA10
引用特許: