特許
J-GLOBAL ID：200903084381696906

小径ロッド及びチューブの作製方法

発明者：
フィンリー ドーガン モリソン

フィンリー ドーガン モリソン について

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ジェームズ フロイド スコット

ジェームズ フロイド スコット について


出願人/特許権者：
ケンブリッジ ユニバーシティ テクニカル サービシズ リミティド

ケンブリッジ ユニバーシティ テクニカル サービシズ リミティド について

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サムコ株式会社

サムコ株式会社 について


代理人 (1件)： 小林 良平
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-502240
公開番号（公開出願番号）：特表2006-517735
出願日： 2004年02月05日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：
本発明は、次のものを含むフォトニックデバイスの製造方法を提供する。即ち、基板を設けること、前記基板に略真直の孔を複数形成すること、屈折率が電圧依存性を有する材料を前記孔に内張り又は充填すること、及び、屈折率が電圧依存性を有する材料のチューブ又はロッドのアレイが残るように前記基板材料の全部ではなく一部を取り除くこと、を含む製造方法である。このような方法の変形例では、堆積された上記材料が圧電性を有し、且つ、上記基板が完全に取り除かれることから、小径(通常は10μm未満)の圧電性チューブ又はロッドが得られる。
請求項（抜粋）：
基板を設けること、 前記基板に略真直の孔を複数形成すること、 前記孔に内張り材料を内張り又は充填すること、及び、 前記内張り材料のチューブ又はロッドのアレイが残るように前記基板材料の全部ではなく一部を取り除くこと、 を含むことを特徴とするフォトニックデバイスの製造方法。
IPC (5件)：
H01L 41/22 ,  B41J 2/16 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/24 ,  H01L 41/187
FI (7件)：
H01L41/22 Z ,  B41J3/04 103H ,  H01L41/08 C ,  H01L41/08 J ,  H01L41/22 A ,  H01L41/18 101B ,  H01L41/18 101D
Fターム (4件)：
2C057AP14 ,  2C057AP23 ,  2C057AP31 ,  2C057BA14
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ドイツ特許A-10101119号
  • 米国特許第6,093,246号
審査官引用 (4件)
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引用文献：
審査官引用 (3件)
  • Polymer Nanotubes by wetting of Ordered Porous Templates
  • Polymer Nanotubes by wetting of Ordered Porous Templates
  • Polymer Nanotubes by wetting of Ordered Porous Templates

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