特許

J-GLOBAL ID：200903084393581047

プローブカード

発明者： 井戸 義幸
出願人/特許権者： イビデン株式会社
代理人 (1件)： 安富 康男 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-055019
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257895
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 長期間使用しても、内部のスルーホール等に腐食が生じず、常温、高温での機械的強度に優れ、高温においてもプローブとの接触不良や反り、変形等が生じず、温度マッチングが速いプローブカードを提供すること。【解決手段】 半導体ウエハに形成された集積回路の検査に用いられるプローブカードであって、非酸化物セラミック製のセラミック基板からなり、上記セラミック基板は、ヘリウムリークディテクタによる測定で10-7Pa・m3 /sec(He)以下のリーク量であることを特徴とするプローブカード。

請求項（抜粋）：

半導体ウエハに形成された集積回路の検査に用いられるプローブカードであって、非酸化物セラミック製のセラミック基板からなり、前記セラミック基板は、ヘリウムリークディテクタによる測定で、10-7Pa・m3 /sec(He)以下のリーク量であることを特徴とするプローブカード。

IPC (3件)：

G01R 31/26 ,  G01R 1/073 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01R 31/26 J ,  G01R 1/073 E ,  H01L 21/66 B

Fターム (19件)：

2G003AA10 ,  2G003AC03 ,  2G003AC04 ,  2G003AD01 ,  2G003AG12 ,  2G003AG16 ,  2G003AG20 ,  2G003AH05 ,  2G003AH07 ,  2G011AA09 ,  2G011AA10 ,  2G011AA17 ,  2G011AB06 ,  2G011AC21 ,  2G011AE03 ,  2G011AF04 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD01

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 窒化アルミニウム粉末
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-140451   出願人：株式会社トクヤマ
• 半導体装置検査用治具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-007136   出願人：日立化成工業株式会社
• スルーホールを有するセラミックス基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-004182   出願人：イビデン株式会社
• ウエハプローバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-201789   出願人：イビデン株式会社