物性測定装置

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上島淳一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-279406
公開番号（公開出願番号）：特開2003-083867
出願日： 2001年09月14日
公開日（公表日）： 2003年03月19日
要約：

【要約】【課題】半導体などの被測定物の局所的な物性を測定することができるようにする。【解決手段】被測定物の表面に局所的に電界を加えたり、または、歪みを加えたり、あるいは、光をパスル的に照射するなどして、被測定物を局所的に変調することを可能にし、当該被測定物の局所的領域における変調によって生ずる変調信号(例えば、被測定物からの反射光)を検出することができるようにして、変調分光法に従って被測定物の物性を測定する。

請求項（抜粋）：

被測定物の局所的領域において該被測定物を変調するプローブと、前記プローブによる前記被測定物の変調によって生ずる変調信号を検出する検出手段とを有する物性測定装置。

IPC (2件)：

G01N 13/14 , G01N 21/27

FI (2件)：

G01N 13/14 A , G01N 21/27 B

Fターム (14件)：

2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB16 , 2G059EE02 , 2G059EE06 , 2G059FF01 , 2G059GG01 , 2G059GG08 , 2G059JJ01 , 2G059JJ11 , 2G059JJ17 , 2G059KK01 , 2G059KK02 , 2G059KK04

引用特許：

審査官引用 (4件)

電場変調スペクトル測定用近接場光学顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-123716 出願人：東京大学長
マルチチャンネル2次元分光方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-328918 出願人：科学技術振興事業団
光ファイバプローブ及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-189287 出願人：財団法人神奈川科学技術アカデミー

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