防振方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：立石篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-172856
公開番号（公開出願番号）：特開平9-004677
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】防振パッド上に保持される装置本体の揺動の発生を効果的に阻止する。【構成】ステージ推力演算機能部11Bはステージ20A、20Bの加速度値と当該ステージ20A、20Bの質量値とに基づいて各ステージに作用する力を求め、第1の座標変換機能部11Cはこれらの各ステージに作用する力を装置本体重心回りに作用する力に変換し、第2の座標変換機能部11D及び制御量演算機能部11Eではこの変換結果に基づいて装置本体重心回りに作用する力を相殺して装置本体の揺れを阻止するように、アクチュエータ7A〜7D、32A〜32Cをフィードフォワード制御する。これによれば、各ステージの質量値と加速度の検出値とに基づいて制御装置によりアクチュエータが制御され、装置本体が揺動するのが効果的に阻止される。

請求項（抜粋）：

少なくとも3個の防振パッドを介して水平に保持された装置本体と、当該装置本体上で移動する少なくとも一つのステージとを備えたステージ装置用の防振装置に用いられ、前記各ステージの移動により前記装置本体に生じる揺動を1又は2以上のアクチュエータを用いて抑制する防振方法であって、前記各ステージの加速度値と当該各ステージの質量値とに基づいて各ステージに作用する力を求め、この求めた各ステージに作用する力を前記装置本体重心回りに作用する力に変換し、この変換結果に基づいて前記装置本体重心回りに作用する力を相殺して前記装置本体の揺れを阻止するように、前記1又は2以上のアクチュエータをフィードフォワード制御することを特徴とする防振方法。

IPC (3件)：

F16F 15/02 , F16F 15/03 , H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A , F16F 15/03 D , H01L 21/30 503 F

引用特許：

審査官引用 (5件)

除振台のフイードフオワード制御方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-192506 出願人：特許機器株式会社, 池田雅夫
浮上支持装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-223173 出願人：株式会社東芝
ステージ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-014419 出願人：株式会社ニコン

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