特許
J-GLOBAL ID:200903084465926974

断線検査方法及び装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 荒井 潤
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-274888
公開番号(公開出願番号):特開2004-109038
出願日: 2002年09月20日
公開日(公表日): 2004年04月08日
要約:
【課題】効率よく確実に断線を検査でき、検査の自動化が可能な断線検査方法及び装置を提供する。【解決手段】ガラス面に導体パターンが形成されたガラス板1を撮影する熱線カメラ7と、例えば前記導体パターンの反対面側のガラス面を吸着してガラス板を移動させる搬送ロボット2と、ガラス板1を検査位置に保持するクランプ装置3と、ガラス板1の導体パターンに所定の検査電圧を付加する給電装置4と、前記熱線カメラ7で撮影した熱画像から断線を判定するCPU6とを備えた断線検査装置。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
ガラス面に導体パターンが形成されたガラス板を熱線カメラで撮影してその熱画像から前記導体パターンの断線を判定する断線検査方法であって、 8〜14μmの波長を前記熱線カメラの測定波長として前記導体パターンの形成面側から撮影し、その熱画像を予め登録された基準パターンの熱画像と比較することにより断線を判定することを特徴とする断線検査方法。
IPC (1件):
G01N21/88
FI (1件):
G01N21/88 Z
Fターム (11件):
2G051AA85 ,  2G051AB20 ,  2G051AC30 ,  2G051BA06 ,  2G051CA04 ,  2G051CB10 ,  2G051DA01 ,  2G051EA12 ,  2G051ED04 ,  2G051ED08 ,  2G051ED11
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)

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