欠陥検査システム

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268753
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091474
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】本発明は、省スペース化を図り、かつ能率のよい欠陥検査を可能にした欠陥検査システムを提供する。【解決手段】被検査体5を複数収納するキャリア33、キャリア33から取り出された被検査体5面を撮像し欠陥を検出する欠陥検出部A、欠陥検出部Aにより欠陥検出された被検査体5を目視観察する目視観察部Cおよび顕微鏡観察する顕微鏡観察部Cを有し、これらキャリア33、欠陥検出部A、目視観察部Bおよび顕微鏡観察部Cの間でロボット35により被検体5を搬送する。

請求項（抜粋）：

被検査体を複数収納する被検査体収納手段と、この被検査体収納手段からの被検査体面を撮像手段で撮像し欠陥を検出する欠陥検出手段と、この欠陥検出手段により欠陥検出された被検査体を目視観察可能にする目視観察手段と、前記欠陥検出手段により欠陥検出された被検査体を顕微鏡観察可能にする顕微鏡観察手段と、これら被検査体収納手段、欠陥検出手段、目視観察手段および顕微鏡観察手段を同一ステーションに配置し、これらの各手段の間で前記被検体を搬送する搬送手段とを具備したことを特徴とする欠陥検査システム。

IPC (2件)：

G01N 21/956 , G01N 21/84

FI (2件)：

G01N 21/956 A , G01N 21/84 D

Fターム (20件)：

2G051AA51 , 2G051AA84 , 2G051AB01 , 2G051AB12 , 2G051AC02 , 2G051BB09 , 2G051BB17 , 2G051CA03 , 2G051CA11 , 2G051CB01 , 2G051CC15 , 2G051DA01 , 2G051DA03 , 2G051DA07 , 2G051DA09 , 2G051EA14 , 2G051EA24 , 2G051ED08 , 2G051ED12 , 2G051FA02

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開昭59-010231
特公平6-069058
基板検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-264342 出願人：オリンパス光学工業株式会社

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