特許

J-GLOBAL ID：200903084506723935

搬送ロボットおよびその搬送方法

発明者： 崎谷 文雄
出願人/特許権者： ローツェ株式会社
代理人 (2件)： 木村 高久 ,  小幡 義之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-351299
公開番号（公開出願番号）：特開2006-159318
出願日： 2004年12月03日
公開日（公表日）： 2006年06月22日
要約：

【課題】停止位置精度の不正確さと搬送アームの動作遅れを低減し、高速基板搬送を可能にした搬送ロボットとその搬送方法を提供する。【解決手段】略中央部に第1の駆動軸14が設けられ、第1の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第1のアーム11と、第1のアームの略両端部に第2および第3の駆動軸9a,9bが設けられ、第2および第3の駆動軸を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第2および第3のアーム6a,6bと、第2および第3のアームの略先端部を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持されたワーク支持部3a,3bとが備えられ、第2および第3の駆動軸を回動させる第2および第3の駆動源15a,15bは、第2の駆動軸9aと第1の駆動軸14との間および第3の駆動軸9bと第1の駆動軸14との間に各々設けられている【選択図】図1

請求項（抜粋）：

略中央部に第1の駆動軸(14)が設けられ、前記第1の駆動軸(14)を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第1のアーム(11)と、 前記第1のアーム(11)の略両端部に第2および第3の駆動軸(9a、9b)が設けられ、前記第2および第3の駆動軸(9a、9b)を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持された第2および第3のアーム(6a、6b)と、 第2および第3のアーム(6a、6b)の略先端部を回動中心にして、水平面内で回動可能に支持されたワーク支持部(3a、3b)とが備えられ、 第2および第3の駆動軸(9a、9b)を回動させる第2および第3の駆動源(15a、15b)は、第2の駆動軸(9a)と第1の駆動軸(14)との間および第3の駆動軸(9b)と第1の駆動軸(14)との間に各々設けられていることを特徴とする搬送ロボット。

IPC (3件)：

B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/677

FI (3件)：

B25J9/06 D ,  B65G49/07 D ,  H01L21/68 A

Fターム (25件)：

3C007BS15 ,  3C007BS26 ,  3C007BT14 ,  3C007CV07 ,  3C007CW07 ,  3C007CY02 ,  3C007CY03 ,  3C007CY05 ,  3C007CY09 ,  3C007HT02 ,  3C007HT16 ,  3C007NS12 ,  5F031CA02 ,  5F031CA05 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA02 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031GA08 ,  5F031GA44 ,  5F031GA50 ,  5F031LA13 ,  5F031LA18 ,  5F031NA02

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 多関節搬送装置,その制御方法及び半導体製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-100065   出願人：株式会社ハイテック・プロダクト
• 搬送ロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-213643   出願人：板垣泰仁
• ダブルアームおよびそれを備えたロボット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-369512   出願人：川崎重工業株式会社
• 基板搬送装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-332913   出願人：ローツェ株式会社