特許

J-GLOBAL ID：200903084566058400

透明電極の製造方法

発明者： 井上 一吉 ,  田中 信夫 ,  矢野 公規
出願人/特許権者： 出光興産株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 喜平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-003487
公開番号（公開出願番号）：特開2006-196201
出願日： 2005年01月11日
公開日（公表日）： 2006年07月27日
要約：

【課題】 インジウムを使用しない透明電極であり、耐アルカリ性や湿熱安定性に優れ、しかも電極が逆台形状になりにくい透明電極の製造方法を提供する。【解決手段】 酸化亜鉛及び酸化スズを主成分とする透明導電膜を形成する第一工程と、透明導電膜上にレジスト膜を形成する第二工程と、レジスト膜をパターニングする第三工程と、透明導電膜を硝酸、塩酸及び水の混合溶液を用いエッチングし、テーパー角が30〜89度である透明電極を形成する第四工程と、透明電極上に残存するレジスト膜を剥離する第五工程と、を含む透明電極の製造方法。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

酸化亜鉛及び酸化スズを主成分とする透明導電膜を形成する第一工程と、 前記透明導電膜上にレジスト膜を形成する第二工程と、 前記レジスト膜をパターニングする第三工程と、 前記透明導電膜を硝酸、塩酸及び水の混合溶液を用いエッチングし、テーパー角が30〜89度である透明電極を形成する第四工程と、 前記透明電極上に残存するレジスト膜を剥離する第五工程と、 を含む透明電極の製造方法。

IPC (1件)：

H01B 13/00

FI (1件)：

H01B13/00 503D

Fターム (9件)：

2H092HA04 ,  2H092KB14 ,  2H092KB15 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092MA18 ,  2H092NA27 ,  2H092PA08 ,  5G323CA01

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭63-184726号公報
  
• 液晶表示装置の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-066371   出願人：出光興産株式会社
• 酸化亜鉛系透明導電膜及びその作製法並びにそれに使用するスパッタリングターゲット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-101855   出願人：株式会社ジャパンエナジー
• ZnO-SnO2 系透明導電性膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-209247   出願人：住友金属鉱山株式会社