ポジ型感光性組成物

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小栗昌平 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-371497
公開番号（公開出願番号）：特開2003-173022
出願日： 2001年12月05日
公開日（公表日）： 2003年06月20日
要約：

【要約】【課題】高解像力で、デフォーカスラチチュード、サイドローブマージンに優れたポジ型感光性組成物を提供する。【解決手段】(A1)活性光線又は放射線の照射により、特定の芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物及びアルキルスルホニウム塩構造を有する化合物から選ばれた少なくとも1種及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂、を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

請求項（抜粋）：

(A1)活性光線又は放射線の照射により、少なくとも1つのフッ素原子及び/又は少なくとも1つのフッ素原子を有する基で置換された芳香族スルホン酸を発生する化合物少なくとも1種、(A2)活性光線又は放射線の照射により、酸を発生する、フェナシルスルホニウム塩構造を有する化合物及びアルキルスルホニウム塩構造を有する化合物から選ばれる少なくとも1種及び(B)単環又は多環の脂環炭化水素構造を有し、酸の作用により分解し、アルカリ現像液中での溶解度が増大する樹脂を含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/004 503 , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/00 , C08F232/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/027

FI (7件)：

G03F 7/004 503 A , C08F220/18 , C08F220/28 , C08F222/00 , C08F232/00 , G03F 7/039 601 , H01L 21/30 502 R

Fターム (66件)：

2H025AA02 , 2H025AA03 , 2H025AB16 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE07 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB41 , 2H025FA17 , 4J100AK32T , 4J100AL08P , 4J100AL08R , 4J100AL08S , 4J100AM43T , 4J100AM45T , 4J100AM47T , 4J100AR09Q , 4J100AR11Q , 4J100BA02P , 4J100BA02Q , 4J100BA03Q , 4J100BA03T , 4J100BA04Q , 4J100BA05Q , 4J100BA05R , 4J100BA05S , 4J100BA06Q , 4J100BA11Q , 4J100BA11R , 4J100BA11S , 4J100BA11T , 4J100BA15P , 4J100BA15Q , 4J100BA15S , 4J100BA16Q , 4J100BA34Q , 4J100BA34S , 4J100BA35Q , 4J100BA40Q , 4J100BA55T , 4J100BA56Q , 4J100BA58Q , 4J100BA58S , 4J100BB01Q , 4J100BB18T , 4J100BC02P , 4J100BC04P , 4J100BC04Q , 4J100BC07P , 4J100BC07Q , 4J100BC07T , 4J100BC08P , 4J100BC09P , 4J100BC09Q , 4J100BC12P , 4J100BC12Q , 4J100BC53Q , 4J100BC53R , 4J100BC53S , 4J100CA03 , 4J100CA05 , 4J100CA06 , 4J100JA38

引用特許：

審査官引用 (4件)

ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-159060 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-307537 出願人：富士写真フイルム株式会社
ポジ型感光性組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-152587 出願人：富士写真フイルム株式会社

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