特許
J-GLOBAL ID:200903084603328358
メタルマスク及びその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤村 元彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-048171
公開番号(公開出願番号):特開2001-237071
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月31日
要約:
【要約】【課題】 有機エレクトロルミネセンス表示パネルの有機エレクトロルミネセンス媒体などの正確な形成ができるとともに製造効率を向上できるメタルマスク及びその製造方法を提供する。【解決手段】 メタルマスクは、複数の貫通開口を有するメタルマスクであって、貫通開口の存在密度の高いマスク本体部とマスク本体部の周囲に位置するマスク本体部の厚さより大なる厚さを有する周縁部とからなる。
請求項(抜粋):
複数の貫通開口を有するメタルマスクであって、前記貫通開口の存在密度の高いマスク本体部と前記マスク本体部の周囲に位置する前記マスク本体部の厚さより大なる厚さを有する周縁部とからなることを特徴とするメタルマスク。
IPC (4件):
H05B 33/10
, C23C 14/04
, H05B 33/12
, H05B 33/14
FI (4件):
H05B 33/10
, C23C 14/04 A
, H05B 33/12 B
, H05B 33/14 A
Fターム (12件):
3K007AB04
, 3K007AB18
, 3K007BA06
, 3K007CA01
, 3K007CB01
, 3K007DA01
, 3K007DB03
, 3K007EB00
, 3K007FA01
, 4K029BD00
, 4K029HA02
, 4K029HA03
引用特許:
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