特許
J-GLOBAL ID:200903084676795779

微小ボール搭載用マスクおよび微小ボールの搭載方法

発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2003-117077
公開番号(公開出願番号):特開2004-327536
出願日: 2003年04月22日
公開日(公表日): 2004年11月18日
要約:
【課題】本発明は、所定の配列パータンで確実に微小ボールをワークに搭載するためのマスクおよび配列方法を提供することを目的としている。【解決手段】本発明のマスクは、所定の配列パターンで微小ボールをワークの一面に搭載するため、前記微小ボールが供給される一方の面および前記一方の面に相対する他方の面と、前記配列パターンに対応し、前記微小ボールが挿通可能な前記一方の面および他方の面に開口した貫通孔とを備え、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めし、前記微小ボールを前記貫通孔を通して前記ワークの一面に搭載するマスクであって、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めした時、前記ワークの一面から前記マスクの一方の面までの距離tが、前記微小ボールの直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有するとともに、前記貫通孔は、前記一方側から前記他方側に向かい広がる第1のテーパ孔部を有し、前記第1のテーパ孔部の前記一方側の辺縁部稜線は、前記ワークの一面に搭載された微小ボールの中心より前記一方側に偏位されてなることを特徴としている。【選択図】 図1
請求項(抜粋):
所定の配列パターンで微小ボールをワークの一面に搭載するため、前記微小ボールが供給される一方の面および前記一方の面に相対する他方の面と、前記配列パターンに対応し、前記微小ボールが挿通可能な前記一方の面および他方の面に開口した貫通孔とを備え、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めし、前記微小ボールを前記貫通孔を通して前記ワークの一面に搭載するマスクであって、前記他方の面を前記ワークの一面に位置決めした時、前記ワークの一面から前記マスクの一方の面までの距離tが、前記微小ボールの直径dに対し0.8≦t/d≦1.4となる厚さを有するとともに、前記貫通孔は、前記一方側から前記他方側に向かい広がる第1のテーパ孔部を有し、前記第1のテーパ孔部の前記一方側の辺縁部稜線は、前記ワークの一面に搭載された微小ボールの中心より前記一方側に偏位されてなることを特徴とする微小ボール搭載用マスク。
IPC (1件):
H01L21/60
FI (1件):
H01L21/92 604H
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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