特許
J-GLOBAL ID：200903084745047704
インクジェットヘッド及びインクジェットヘッドの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-094019
公開番号（公開出願番号）：特開平8-281945
出願日： 1995年04月19日
公開日（公表日）： 1996年10月29日
要約：
【要約】【目的】 インクキャビティーの配列方向が<112>方向であることで、小型、低コストのインクジェットプリンタのヘッドを提供すること。【構成】 Si基板102上にSi異方性エッチングによってインクキャビティー101を形成する。このとき、インクキャビティー101の配列方向を<112>方向に配列することで、インクリザーバー103の幅を狭くする。
請求項（抜粋）：
複数のノズル口と、該ノズル口の各々に連通する細長く形成された複数のインクキャビティーと、該インクキャビティー内のインクに接しインクを加圧する振動板と、該振動板を振動する手段と、前記インクキャビティーに連通してインクを供給するインク供給口と、該インク供給口に連通するインクリザーバーとを有するインクジェットヘッドであって、前記インクキャビティーが格子面(110)の面方位のSi基板上に形成されたインクジェットヘッドであり、かつ前記複数のインクキャビティーの配列方向が<112>の格子方向であることを特徴とするインクジェットヘッド。
IPC (3件)：
B41J 2/045
, B41J 2/055
, B41J 2/16
B41J 3/04 103 A
, B41J 3/04 103 H
