特許
J-GLOBAL ID:200903084788801380

三次元形状の測定方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2005-353565
公開番号(公開出願番号):特開2007-155601
出願日: 2005年12月07日
公開日(公表日): 2007年06月21日
要約:
【課題】簡単な構成で3次元形状の形状計測の測定分解能を向上する。【解決手段】2値化投影パターンを測定対象物に投影し、上記2値化投影パターンを投影された上記測定対象物の画像に基づいて、上記測定対象物の三次元形状を測定する三次元形状の測定方法において、所定の2値化投影パターンを測定対象物に対して所定の移動量でシフトしながら上記測定対象物に順次投影し、上記シフト毎に上記所定の2値化投影パターンを投影された上記測定対象物の第1の種類の画像を取得し、それぞれ異なる複数の2値化投影パターンを上記測定対象物にそれぞれ投影し、上記それぞれ異なる複数の2値化投影パターンのそれぞれを投影する毎に、上記それぞれ異なる複数の2値化投影パターンをそれぞれ投影された上記測定対象物の第2の種類の画像を取得し、上記第1の種類の画像と上記第2の種類の画像とに基づいて、上記測定対象物の三次元形状を取得する。【選択図】 図3
請求項(抜粋):
2値化投影パターンを測定対象物に投影し、前記2値化投影パターンを投影された前記測定対象物の画像に基づいて、前記測定対象物の三次元形状を測定する三次元形状の測定方法において、 所定の2値化投影パターンを測定対象物に対して所定の移動量でシフトしながら前記測定対象物に順次投影し、前記シフト毎に前記所定の2値化投影パターンを投影された前記測定対象物の第1の種類の画像を取得し、 それぞれ異なる複数の2値化投影パターンを前記測定対象物にそれぞれ投影し、前記それぞれ異なる複数の2値化投影パターンのそれぞれを投影する毎に、前記それぞれ異なる複数の2値化投影パターンをそれぞれ投影された前記測定対象物の第2の種類の画像を取得し、 前記第1の種類の画像と前記第2の種類の画像とに基づいて、前記測定対象物の三次元形状を取得する ことを特徴とする三次元形状の測定方法。
IPC (1件):
G01B 11/24
FI (1件):
G01B11/24 K
Fターム (17件):
2F065AA53 ,  2F065BB05 ,  2F065DD03 ,  2F065FF01 ,  2F065FF07 ,  2F065FF09 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065MM16 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065RR07 ,  2F065SS13 ,  2F065UU05
引用特許:
出願人引用 (1件) 審査官引用 (5件)
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