特許
J-GLOBAL ID：200903084870628735
測定値の判定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡田 守弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-194819
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170969
出願日： 2005年07月04日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：
【目的】本発明は、被測定対象物上のパターンの線幅あるいは線間隔などを測定した測定値の良否を判定する測定値の判定方法に関し、画像撮影時の焦点合わせの不良による画像の不明瞭、更にチャージによる画像ドリフトによる画像の不明瞭などによる、パターンの線幅などの測定不良を自動判定することを目的とする。【構成】 被測定対象物上のパターンの信号強度分布を取得するステップと、取得した信号強度分布から当該パターンのエッジ位置を検出するステップと、取得した信号強度分布からパターンのエッジ部分のテーパ幅を検出するステップと、検出したテーパ幅が予め設定した所定範囲内のときに検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が正しいと判定するステップとを有する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
被測定対象物上のパターンの線幅あるいは線間隔などを測定した測定値の良否を判定する判定方法において、
被測定対象物上のパターンの信号強度分布を取得するステップと、
前記取得した信号強度分布から当該パターンのエッジ位置を検出するステップと、
前記取得した信号強度分布から当該パターンのエッジ部分のテーパ幅を検出するステップと、
前記検出したテーパ幅が予め設定した所定範囲内のときに前記検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が正しいと判定し、一方、所定範囲外のときに前記検出したエッジ位置をもとに算出した測定値が不良と判定するステップと
を有する測定値の判定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (18件)：
2F067AA13
, 2F067AA16
, 2F067AA25
, 2F067AA26
, 2F067AA62
, 2F067BB04
, 2F067BB21
, 2F067CC16
, 2F067HH06
, 2F067JJ05
, 2F067KK04
, 2F067LL16
, 2F067QQ02
, 2F067RR12
, 2F067RR35
, 2F067SS03
, 2H095BD03
, 2H095BD11
審査官引用 (7件)
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荷電ビーム測長装置及び測長方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2000-251162
出願人：富士通株式会社
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特開昭54-068149
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特開平4-274711
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