薄膜太陽電池の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：山口巖 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204935
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023169
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板と光電変換層との間の付着力を向上して信頼性を向上し、かつ製造工程の簡素化も図った薄膜太陽電池の製造方法を提供する。【解決手段】ガラス基板1上に、散乱層Sと高反射率金属層と透明導電層とからなる第1電極層Lを形成し、この第1電極層Lの上に、微結晶または非晶質半導体からなる光電変換層aを形成し、最後に第2電極層としての透明電極層uを形成し、前記各層が互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池の製造方法において、ガラス基板1上に形成した第1電極層Lのパターニング加工工程は、パターニング加工と同時に、光電変換層aの基板1への付着力を高めるために当該パターニング部1aの前記基板表面を凹凸化する工程を含むこととし、例えば、前記凹凸面を、サンドブラスト法により、凹凸の山の頂点と谷の高さの差が少なくとも1μmとする。

請求項（抜粋）：

ガラス基板の主面上に、凹凸面を有する散乱層と高反射率金属層とからなる第1電極層、もしくは凹凸面を有する散乱層と高反射率金属層と透明導電層とからなる第1電極層を形成し、この第1電極層の上に、微結晶または非晶質半導体からなる光電変換層を形成し、最後に第2電極層としての透明電極層を形成し、前記各層が互いにパターニングされて隣合う単位光電変換部分(ユニットセル)を電気的に直列に接続してなる薄膜太陽電池の製造方法において、前記ガラス基板主面上に形成した第1電極層のパターニング加工工程は、パターニング加工と同時に、前記光電変換層の基板への付着力を高めるために当該パターニング部の前記基板表面を凹凸化する工程を含むことを特徴とする薄膜太陽電池の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 31/04 , B24C 1/00

FI (2件)：

B24C 1/00 Z , H01L 31/04 V

Fターム (7件)：

5F051AA05 , 5F051CA15 , 5F051EA07 , 5F051FA03 , 5F051FA22 , 5F051GA03 , 5F051GA14

引用特許：

審査官引用 (6件)

太陽電池の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-071698 出願人：シャープ株式会社
特開平4-334069
特開平4-334069

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