特許
J-GLOBAL ID:200903084924988350
インクジェットプリントヘッドの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
鶴若 俊雄
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-385036
公開番号(公開出願番号):特開2002-264342
出願日: 2001年12月18日
公開日(公表日): 2002年09月18日
要約:
【要約】【課題】メッキとレーザーパターニングを組み合わせた、高速、高画質、高密度、インクジェットプリントヘッドの電極と接続電極を形成する。メッキ中、又は、メッキ前に、レーザーで不要部を除去するので、メッキした後、レーザーで、不要な電極とメッキ金属を除去して、パターンを形成する従来の方法に比べて、簡単に、高密度、立体配線を形成できる。【解決手段】圧電体を含む部材にチャネルを形成し、圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも一側面と底面を、触媒を吸着させてメッキ処理して所望の膜厚より薄いメッキ薄膜を形成した後、前記メッキ薄膜の一部をレーザー光で除去し、その後、再びメッキ処理することにより、前記レーザー光で除去されなかったメッキ薄膜上にさらなるメッキ膜を形成し、これにより前記所望の膜厚の電極を形成する。
請求項(抜粋):
圧電体を含む部材にチャネルを形成し、前記圧電体に設けられた電極に電圧を印加して、前記圧電体を駆動することにより、前記チャネルからインクを噴射するインクジェットプリントヘッドを製造する方法であり、複数のチャネル用の溝を有するチャネルプレートの少なくとも一側面と底面を、触媒を吸着させてメッキ処理して所望の膜厚より薄いメッキ薄膜を形成した後、前記メッキ薄膜の一部をレーザー光で除去し、その後、再びメッキ処理することにより、前記レーザー光で除去されなかったメッキ薄膜上にさらなるメッキ膜を形成し、これにより前記所望の膜厚の電極を形成することを特徴とするインクジェットプリントヘッドの製造方法。
Fターム (12件):
2C057AF05
, 2C057AF93
, 2C057AG45
, 2C057AP03
, 2C057AP22
, 2C057AP23
, 2C057AP24
, 2C057AP25
, 2C057AP27
, 2C057AP55
, 2C057BA03
, 2C057BA14
引用特許:
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