特許
J-GLOBAL ID：200903084999537515

面位置検出方法、面位置検出装置、合焦装置、露光装置及びデバイスの製造方法

発明者：
鬼頭 義昭

鬼頭 義昭 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (4件)： 志賀 正武 ,  高橋 詔男 ,  青山 正和 ,  西 和哉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-063598
公開番号（公開出願番号）：特開2004-273828
出願日： 2003年03月10日
公開日（公表日）： 2004年09月30日
要約：
【課題】透過性基板からの反射光のなかに、表面からの反射光のみならず、裏面からの反射光が含まれる場合であっても、透過性基板の表面の高さ情報を正確に検出する面位置検出方法を提供することを目的とする。【解決手段】透過性基板の被検面に対して斜め方向から光を投射し、透過性基板Wからの反射光を受光することにより透過性基板の面位置情報を検出する面位置検出方法において、透過性基板からの反射光のなかから被検面で反射した被検面反射光を反射光の強度分布Dに基づいて特定して透過性基板の面位置情報を検出する。【選択図】 図6
請求項（抜粋）：
透過性基板の被検面に対して斜め方向から光を投射し、該透過性基板からの反射光を受光することにより該透過性基板の面位置情報を検出する面位置検出方法において、 前記透過性基板からの反射光のなかから前記被検面で反射した被検面反射光を該反射光の強度分布に基づいて特定して該透過性基板の面位置情報を検出することを特徴とする面位置検出方法。
IPC (3件)：
H01L21/027 ,  G01B11/00 ,  G03F9/00
FI (3件)：
H01L21/30 526B ,  G01B11/00 B ,  G03F9/00 H
Fターム (27件)：
2F065AA20 ,  2F065AA24 ,  2F065CC20 ,  2F065CC25 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065GG24 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL00 ,  2F065LL04 ,  2F065LL13 ,  2F065LL28 ,  2F065LL46 ,  2F065NN08 ,  2F065NN20 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ38 ,  5F046BA04 ,  5F046DA05 ,  5F046DA14 ,  5F046DB05 ,  5F046DB14
引用特許：
審査官引用 (11件)
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