特許
J-GLOBAL ID:200903085031486867

冷媒再凝縮装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊東 忠彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-338685
公開番号(公開出願番号):特開2008-151387
出願日: 2006年12月15日
公開日(公表日): 2008年07月03日
要約:
【課題】本発明は冷凍機を用いて蒸発した冷媒を再び液化する冷媒凝縮装置に関し、冷媒の凝縮処理を確実に行いつつ冷媒容器内の圧力変動を低減することを課題とする。【解決手段】GM冷凍機11と、液体ヘリウム18(冷却用冷媒)が充填された液体ヘリウム容器17Aと、GM冷凍機11により冷却され蒸発した液体ヘリウム18(冷却用冷媒)を凝縮して液体ヘリウム容器17A内に戻す凝縮器23Aとを有した冷媒再凝縮装置において、内部に充填されたダンパ用冷媒により冷却ステージ14の温度変動を吸収する温度ダンパ20Aを冷却ステージ14と凝縮器23Aとの間に設ける。また、ダンパ用冷媒として、ヘリウム容器17に充填されている液体ヘリウム18を用いる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
極低温冷凍機と、 液体状の冷却用冷媒が充填された冷却容器と、 前記極低温冷凍機により冷却され、蒸発した前記冷却用冷媒を凝縮して前記冷却容器内に戻す凝縮器とを有した冷媒再凝縮装置において、 内部に充填されたダンパ用冷媒により前記冷却ステージの温度変動を吸収するサーマルダンパを、前記極低温冷凍機の冷却ステージと前記凝縮器との間に設けたことを特徴とする冷媒再凝縮装置。
IPC (1件):
F25B 9/14
FI (1件):
F25B9/14 530Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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