特許
J-GLOBAL ID：200903085109065510
ゲートバルブ
出願人/特許権者：
株式会社ベンカン
株式会社ベンカン について
代理人 (1件)： 三宅 景介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-284724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-218238
出願日： 1998年09月22日
公開日（公表日）： 1999年08月10日
要約：
【要約】【課題】 ゲート開放状態およびびゲート閉鎖状態でロックし、ゲートがチャンバー内の圧力変化、ゲートの自重などにより動作するのを防止して、信頼性等を向上させる。【解決手段】 エアシリンダ装置19によりステム8、ゲート2を軸方向へ移動させ、ゲート2が流路口3に対応すると、カム溝25を有するローラカム26、カム用ローラー24等から成るカム機構によりステム8、ゲート2を揺動させて流路口3を開閉させる。エアシリンダ装置19の底部側と頂部側とでピストン19′に係合してゲート閉鎖およびび開放を夫々ロックするピストンピン式ロック装置40を設ける。
請求項（抜粋）：
流路口を開閉し得るゲートと、このゲートを前記流路口に対向する前進位置と前記流路口の軸心に対する直角方向の後退位置とに移動させるとともに、前記ゲートを前記前進位置で前記流路口を開閉させるように移動させるためのシリンダ装置を有する移動手段と、前記ゲートによる前記流路口の開放位置と閉塞位置のうち、少なくとも一方の位置で前記シリンダ装置の伸縮動作をロックするロック手段とを備えたゲートバルブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
出願人引用 (4件)
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無しゅう動真空ゲートバルブ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平6-176899 出願人：入江工研株式会社 -
ゲートバルブ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平5-342760 出願人：株式会社岸川特殊バルブ -
ゲートバルブ
公報種別：公開公報 出願番号：特願平6-288720 出願人：株式会社岸川特殊バルブ
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