特許
J-GLOBAL ID：200903085165188781
レーザ装置、露光方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤元 亮輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-434733
公開番号（公開出願番号）：特開2005-191503
出願日： 2003年12月26日
公開日（公表日）： 2005年07月14日
要約：
【課題】 スペクトル幅を安定化させて高品位な露光を達成することが可能なレーザ装置、及びこれを使用する露光装置及び方法、並びに、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】 中心波長を含み、第1の変動幅で変動する第1の波長スペクトラムからなるレーザ光を出力可能なレーザ装置において、前記中心波長と前記第1の波長スペクトラムを決定する波長選択素子と、当該波長選択素子を駆動して前記レーザ光を揺動させ、揺動中に積算されるレーザ光が、前記中心波長と同一又は近傍を含み、前記第1の変動幅よりも小さい第2の変動幅で変動する、前記第1の波長スペクトラムよりも広い第2の波長スペクトラムを有するようにする駆動部とを有することを特徴とするレーザ装置を提供する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
第1の波長スペクトラムのレーザを発振するレーザ装置において、
前記第1の波長スペクトラムを決定する波長選択素子と、
前記波長選択素子を所定の周期で駆動する駆動機構とを有することを特徴とするレーザ装置。
IPC (4件)：
H01L21/027
, G03F7/20
, H01S3/00
, H01S3/137
H01L21/30 515B
, G03F7/20 521
, H01S3/00 B
, H01S3/137
5F046CA03
, 5F046CA07
, 5F046CB22
, 5F046DA01
, 5F072AA06
, 5F072HH02
, 5F072HH08
, 5F072HH09
, 5F072JJ13
, 5F072JJ20
, 5F072KK06
, 5F072KK07
, 5F072KK08
, 5F072MM05
, 5F072MM20
, 5F072RR05
, 5F072YY09
