角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：広瀬和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-024875
公開番号（公開出願番号）：特開平6-281665
出願日： 1994年01月28日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】振動体に加わる気体の粘性抵抗力を低減すると共に、ノイズを低減して角速度の検出感度等を向上する。【構成】第1の支持梁15により上側基板12と水平方向で、かつ支持軸O-Oと直交するX-X方向に振動可能に設けられた第1の振動体14と、支持軸O-O上に位置して第1の振動体14内に第2の支持梁17を介して水平に支持され、X-X方向および上側基板12と垂直な方向に振動可能に設けられた第2の振動体16とを備え、各振動発生部18によって各振動体14,16をX-X方向に振動させる構成とした。これにより、支持軸O-Oを中心として回転力Tが加わると、コリオリの力によって第2の振動体16は垂直方向に変位し、この変位量は変位量検出部19によって角速度検出信号として検出される。

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に第1の支持梁を介して支持され、該基板に対し水平方向に振動可能に設けられた第1の振動体と、前記第1の支持梁の支持軸上に位置して該第1の振動体に第2の支持梁を介して水平に支持され、前記基板に対し水平および垂直方向に振動可能に設けられた第2の振動体と、前記第1の振動体を前記基板に対し水平方向に振動させる振動発生手段と、該振動発生手段で振動を与えている状態で、前記第2の振動体が垂直方向に変位したときの変位量を検出する変位量検出手段とから構成してなる角速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

引用特許：

審査官引用 (6件)

特開平4-233468
振動ジャイロセンサー
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-292586 出願人：住友精密工業株式会社
角速度センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-143148 出願人：株式会社村田製作所

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