薄膜圧電共振器及びその製造方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：三好秀和 , 岩▲崎▼ 幸邦 , 川又澄雄 , 中村友之 , 伊藤正和 , 高橋俊一 , 高松俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-099911
公開番号（公開出願番号）：特開2005-333619
出願日： 2005年03月30日
公開日（公表日）： 2005年12月02日
要約：

【課題】電気機械結合係数kt2及びQ値が共に大きく、且つ下部電極の膜厚制御が容易な薄膜圧電共振器及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板11;この基板11に対して一部が中空状態で機械的に保持された下部電極14;平面パターン上、自己が占有する領域の内部に下部電極14のすべてを包含するように、下部電極14上に配置された圧電体15;この圧電体15上の上部電極16;基板11と圧電体15との間において、平面パターン上、圧電体15の占有する領域の境界に位置し、且つ占有する領域の内部において下部電極14と接続する中継電極13;占有する領域の境界から外部に延在した中継電極13に接続される下部電極配線17とを備える。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

基板と、該基板に対して一部が中空状態で機械的に保持された下部電極と、平面パターン上、自己が占有する領域の内部に前記下部電極のすべてを包含するように、前記下部電極上に配置された圧電体と、該圧電体上の上部電極と、前記基板と前記圧電体との間において、平面パターン上、前記圧電体の占有する領域の境界に位置し、且つ前記占有する領域の内部において前記下部電極と接続する中継電極と、前記占有する領域の境界から外部に延在し、且つ前記中継電極に接続される下部電極配線とを備え、前記圧電体の厚み方向のバルク振動を利用することを特徴とする薄膜圧電共振器。

IPC (9件)：

H03H9/17 , H01L41/08 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/187 , H01L41/22 , H03H3/02 , H03H9/58 , H03H9/70

FI (9件)：

H03H9/17 F , H03H3/02 B , H03H9/58 A , H03H9/70 , H01L41/08 C , H01L41/08 D , H01L41/18 101B , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

Fターム (18件)：

5J108AA07 , 5J108BB07 , 5J108BB08 , 5J108CC11 , 5J108CC12 , 5J108DD06 , 5J108DD09 , 5J108EE03 , 5J108EE04 , 5J108EE07 , 5J108FF01 , 5J108FF03 , 5J108FF04 , 5J108FF05 , 5J108KK01 , 5J108KK02 , 5J108KK07 , 5J108MM11

引用特許：

出願人引用 (1件)

音響共振器とその製作方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-154956 出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー

審査官引用 (5件)

圧電薄膜振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-248764 出願人：株式会社村田製作所
マイクロ圧電振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-184905 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開昭63-174417

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