特許
J-GLOBAL ID：200903085669110627

顕微鏡装置、顕微鏡画像処理方法および半導体素子の検査方法

発明者：
江藤 竜二

江藤 竜二 について


出願人/特許権者：
松下電器産業株式会社

松下電器産業株式会社 について


代理人 (2件)： 宮井 暎夫 ,  伊藤 誠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-041403
公開番号（公開出願番号）：特開2005-235495
出願日： 2004年02月18日
公開日（公表日）： 2005年09月02日
要約：
【課題】 薄膜試料内部の構造の影響を受けない2次電子および透過電子像の構成できる電子顕微鏡を提供する。【解決手段】 電子顕微鏡装置は、電子線を薄片試料に照射した際に、観察用試料を取り付けた試料ホルダとアースに接地した配線との間に流れる、微弱な電流変化を検出するための電流計14と、電流計から得られた信号と2次電子検出器9または透過電子検出器10などから得られた信号とを一定の割合で混ぜ合わせることのできる信号処理装置11を具備している。信号処理装置により補正した信号と偏向信号制御装置の信号とを同期して表示装置に出力する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
薄片化した部分を有する観察用試料を試料ホルダに取り付け、前記試料に荷電粒子線を照射した際に2次的に発生する信号を検出する2次電子検出器または透過検出器を用いて画像を構成する顕微鏡装置であって、荷電粒子線を前記試料に照射した際に、前記試料ホルダとアースに接地した配線との間に流れる、微弱な電流変化を検出するための電流計と、前記電流計から得られた信号と前記2次電子検出器または透過検出器から得られた信号とを一定の割合で混ぜ合わせることのできる信号処理装置とを備えた顕微鏡装置。
IPC (6件)：
H01J37/28 ,  G01B15/00 ,  G01R31/302 ,  H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/317
FI (6件)：
H01J37/28 B ,  G01B15/00 B ,  H01J37/22 502H ,  H01J37/244 ,  H01J37/317 D ,  G01R31/28 L
Fターム (26件)：
2F067AA27 ,  2F067BB04 ,  2F067CC15 ,  2F067EE03 ,  2F067FF08 ,  2F067HH06 ,  2F067KK04 ,  2F067KK06 ,  2F067QQ02 ,  2F067RR35 ,  2G132AA00 ,  2G132AB01 ,  2G132AD01 ,  2G132AD03 ,  2G132AE16 ,  2G132AE23 ,  2G132AF13 ,  2G132AH07 ,  2G132AL12 ,  5C033NN01 ,  5C033NN03 ,  5C033NP06 ,  5C033UU04 ,  5C033UU05 ,  5C033UU08 ,  5C034DD09
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (5件)
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