光合分波器用多層膜フィルター

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-228286
公開番号（公開出願番号）：特開2004-069954
出願日： 2002年08月06日
公開日（公表日）： 2004年03月04日
要約：

【課題】安価でかつ低損失、ばらつきの少ない多層膜フィルターを大量に提供することを目的とする。【解決手段】基材の多層膜形成面(基材A面)の表面粗さを0.2nm以上0.7nm以下、基材の反射防止膜形成面(基材B面)の表面粗さを0.2nm以上1.4nmとすることで、挿入損失を-0.4dB以下とすることができ、基材B面と基材A面の表面粗さの比を3/2以下とすることで、挿入損失のばらつきを抑える。基材の表面粗さの下限を0.2nmとすることにより安価で大量生産できる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基材の一方の面に形成された光フィルター機能を有する多層膜および光反射防止膜、他方の面に形成された反射防止膜からなる光合分波器用多層膜フィルターであって、基材の表面粗さRaが多層膜形成面側は0.2nm以上0.7nm以下、反射防止膜形成面側は0.2nm以上1.4nm以下であることを特徴とする光合分波器用多層膜フィルター。

IPC (3件)：

G02B5/28 , G02B1/11 , G02B6/28

FI (3件)：

G02B5/28 , G02B6/28 S , G02B1/10 A

Fターム (11件)：

2H048GA04 , 2H048GA09 , 2H048GA13 , 2H048GA24 , 2H048GA34 , 2H048GA51 , 2H048GA62 , 2K009AA03 , 2K009BB02 , 2K009CC03 , 2K009FF02

引用特許：

審査官引用 (4件)

カラーフィルタ用感光性フィルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-279987 出願人：日立化成工業株式会社
多層膜光フィルタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-273133 出願人：アルプス電気株式会社
色分解系とそれを用いた投射型表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-328467 出願人：株式会社ニコン

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