特許

J-GLOBAL ID：200903085728468603

プラズマ監視窓

発明者： 鈴木 敦 ,  大滝 浩通 ,  岸 幸男
出願人/特許権者： 株式会社日本セラテック ,  太平洋セメント株式会社
代理人 (1件)： 高山 宏志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-201201
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028365
出願日： 1999年07月15日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】 プラズマにより透過率が低下しにくく、プラズマ処理装置の長時間の連続運転を可能とするプラズマ監視窓を提供すること。【解決手段】 プラズマ処理装置にてプラズマ処理を実施する際に装置内のプラズマを監視するプラズマ監視窓であり、中心線平均表面粗さが1μm以下のセラミックス焼結体からなり、厚さ5mmでの直線透過率が紫外領域から可視領域で40%以上である。

請求項（抜粋）：

プラズマ処理装置にてプラズマ処理を実施する際に装置内のプラズマを監視するプラズマ監視窓であって、中心線平均表面粗さが1μm以下のセラミックス焼結体からなり、厚さ5mmでの直線透過率が紫外領域から可視領域で40%以上であることを特徴とするプラズマ監視窓。

IPC (4件)：

H01L 21/3065 ,  C03C 3/06 ,  C04B 35/50 ,  H01L 21/205

FI (4件)：

H01L 21/302 E ,  C03C 3/06 ,  C04B 35/50 ,  H01L 21/205

Fターム (18件)：

4G062AA01 ,  4G062BB07 ,  4G062CC01 ,  4G062MM01 ,  4G062NN01 ,  4G062NN34 ,  5F004AA14 ,  5F004AA15 ,  5F004AA16 ,  5F004BC08 ,  5F004CB02 ,  5F004DA01 ,  5F004DA26 ,  5F045AA08 ,  5F045BB08 ,  5F045BB14 ,  5F045EC03 ,  5F045GB08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• プラズマ処理装置用窓部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-018839   出願人：京セラ株式会社
• 透光性を有する耐蝕性材料及びその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-038204   出願人：太平洋セメント株式会社, 株式会社日本セラテック
• 耐プラズマ部材
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-042604   出願人：京セラ株式会社