振動ジャイロ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田全啓
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-282986
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111132
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】製造が簡単で、励振効率および検出効率の高い振動ジャイロを得る。【解決手段】振動ジャイロ10は、2つの圧電体基板14,16を接合層18で接合した音叉形の振動体12を含む。2つの圧電体基板14,16を、互いに逆向きに分極する。圧電体基板14の外側主面に、音叉形状に沿って、2つの駆動用電極20,22を形成する。圧電体基板16の外側主面において、振動体12の2つの脚部のそれぞれに、検出用電極24,26を形成する。駆動用電極20,22間に発振回路30を接続し、振動体12の2つの脚部が開閉するように振動させる。検出用電極24,26の出力信号を差動回路32に入力し、差動回路32に、同期検波回路34,積分回路36,直流増幅回路38を順次接続する。

請求項（抜粋）：

音叉形の2つの圧電体基板を接合して形成された振動体、一方の前記圧電体基板の外側主面において音叉形に沿って形成される2つの駆動用電極、および他方の前記圧電体基板の外側主面においてそれぞれの脚部に形成される2つの検出用電極を含み、2つの前記圧電体基板は互いに逆向きに分極された、振動ジャイロ。

IPC (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

FI (2件)：

G01C 19/56 , G01P 9/04

引用特許：

審査官引用 (5件)

圧電振動角速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-115693 出願人：株式会社ニコン
圧電振動角速度計
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-083342 出願人：株式会社ニコン
角速度センサ及びその使用方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-168724 出願人：日本電装株式会社

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