可変密度走査関連出願の相互参照本出願は、2006年1月31日に出願された米国仮特許出願60/763,659の優先権を主張し、2006年11月28日に出願された、米国特許出願11/563,822(発明の名称「可変密度走査」)に関連しその優先権を主張するものであり、引用によりその全体を本明細書に包含する。

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：稲葉良幸 , 大賀眞司 , 大貫敏史
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-552303
公開番号（公開出願番号）：特表2009-525466
出願日： 2006年11月30日
公開日（公表日）： 2009年07月09日
要約：

【課題】比較的短いデータ取得時間内で、限界寸法の高精度測定用に、試料表面の特定領域を選択的に画像化することである。【解決手段】測定器における走査速度を変更するシステムおよび技術を提供する。当該技術は、試料の関心領域の位置を示す情報を受信するステップと、前記試料の前記関心領域内において第1のデータ密度を得るように構成された第1の波形セグメントと、前記試料の前記関心領域外において第1のデータ密度より低い第2のデータ密度を得るように構成された第2の波形セグメントとを含む走査波形を生成するステップと、を備える。前記走査波形は、さらに、第3の異なるデータ密度を得るように構成された第3の波形セグメントを含んでもよい。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

試料の関心領域の位置を示す情報を受信するステップと、前記試料の前記関心領域内において第1のデータ密度を得るように構成された第1の波形セグメントと、前記試料の前記関心領域外において前記第1のデータ密度より低い第2のデータ密度を得るように構成された第2の波形セグメントと、を含む走査波形を生成するステップと、を含む、方法。

IPC (1件)：

G01N 13/10

FI (1件)：

G01N13/10 101F

引用特許：

審査官引用 (4件)

画像検出装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-343479 出願人：株式会社ニコン
特開昭61-220261
走査型プローブ顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-141899 出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

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